燃料流生成器、ソースコレクタ装置、及び、リソグラフィ装置

摘要

【課題】既知の放射源に比べて新規で独創的な燃料流生成器を提供する。【解決手段】燃料リザーバに接続されるノズルを備える燃料流生成器であって、ノズルには、ノズルに沿って流れる燃料を圧縮するガスシースを提供するよう構成されているガス入口が設けられている燃料流生成器が開示される。また、燃料滴を生成する方法、及び、燃料流生成器を組み込んだリソグラフィ装置が開示される。【選択図】図３