| 摘要 |
1. Многозондовый датчик контурного типа для сканирующего зондового микроскопа, содержащий основание (1), на котором по внешнему контуру (2) первыми концами (3) закреплены гибкие консоли (4) с зондами (5), имеющими заострения (6) на вторых концах (7), при этом гибкие консоли (4) с зондами (5) представляют собой зондовые модули (8), отличающийся тем, что основание (1) включает установочный модуль (9), имеющий координатную привязку с зондовомыми модулями (8).2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что зондовые модули (8) имеют индивидуальную маркировку.3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что гибкие консоли (4) имеют различную длину, и(или) различную ширину, и(или) различную толщину.4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна гибкая консоль (4) имеет переменную ширину и(или) переменную толщину.5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна гибкая консоль (4) имеет V-образную форму (11).6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что гибкие консоли (4) отличаются друг от друга механическими характеристиками.7. Устройство по п.10, отличающееся тем, что зондовые модули (8), включают покрытия (15), которые могут быть проводящими, и(или) ферромагнитными, и(или) магнитными, и(или) пьезоэлектрическими.8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что основание (1) имеет переменную толщину.9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что основание (1) выполнено композитным.10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что основание (1) содержит, по меньшей мере, один функциональный модуль (25), сопряженный с, по меньшей мере, одним с зондовым модулем (8).11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что, по меньшей мере, один функциональный модуль (25) выполнен в виде электро |
