| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Analyse eines reflektierenden Prüflings (7). Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Sensor (1) mit einer Strahlquelle (2) zur Generierung eines Prüfstrahls (P), der im Betrieb der Vorrichtung auf den Prüfling (7) gerichtet und an diesem reflektiert wird, und einer Detektionsschicht (3) zur ortsaufgelösten Detektion des reflektierten Prüfstrahls (P), wobei die Detektionsschicht (3) auf einer Seite eine Detektionsfläche (4) aufweist, auf welche der Prüfstrahl auftrifft. Ferner ist eine Auswerteeinheit (6) zur Bestimmung des Strahlverlaufs des reflektierten Prüfstrahls (P) unter Verwendung der ortsaufgelösten Detektion des reflektierten Prüfstrahls (P) vorgesehen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass der Sensor (1) derart ausgestaltet ist, dass die Detektionsfläche (4) eine freiliegende Fläche des Sensors (1) ist und der Prüfstrahl (P) an der freiliegenden Detektionsfläche (4) aus dem Sensor (1) austritt.</p> |
