微細凹凸構造を表面に有する部材の検査装置および検査方法、陽極酸化アルミナ層を表面に有する部材の製造方法、及び光学フィルムの製造方法

摘要

陽極酸化アルミナの表面の微細凹凸構造の形状や陽極酸化アルミナの厚さを簡易に検査できる検査装置および検査方法等を提供すること。発明の陽極酸化アルミナの検査装置は、検査対象の陽極酸化アルミナに光を照射する照射手段２２と、偏光手段を通過した光を撮像する撮像手段２４と、照射手段から照射された光を偏光させる偏光手段２８と、撮像手段によって撮像された画像から得られた色情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理手段２６とを備えていることを特徴とする。