| 摘要 |
<p>プラズマ処理装置は、チャンバと、チャンバ内において互いに離隔しつつ互いに平行に配置された複数の対向電極対とを備え、前記複数の対向電極対のうちの１つである電極対は、互いに平行になるように離隔して配置された第１電極（３１）および第２電極（３２）からなる。これらの電極は、互いに主表面（４）同士が対向するように配置されている。第１電極（３１）は、ガス入口（７）に連なるように、突出する金属配管部（１４）を備え、金属配管部（１４）には原料ガス供給源から原料ガスを移送するための樹脂配管（１３）がチャンバ内において接続されており、第１電極（３１）と第２電極（３２）とが対向することによって挟まれる空間（３３）の端を基準として、金属配管部（１４）が突出する長さＬは、２０ｍｍ以上である。</p> |
