| 发明名称 |
Improvements in or relating to sources of vaporized material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1106970(A) |
申请公布日期 |
1968.03.20 |
| 申请号 |
GB19650032980 |
申请日期 |
1965.08.02 |
| 申请人 |
CONSOLIDATED VACUUM CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/30;H01J7/18;H01J37/305;H01J41/20 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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