| 摘要 |
<p>【課題】多数の基板上の特定部分のみに薄膜を形成する作業を簡素化して効率化することにより、薄膜形成時の作業時間を短縮し、成膜作業における費用の低減が可能な薄膜形成装置を提供する。【解決手段】薄膜形成装置１００に備えられた基板保持機構３は、基板Ｓの非成膜部分Ｓ２の一部が互いに重なり合い、成膜部分Ｓ１が露出するように複数の基板Ｓを保持する基板保持部材１０〜４０と、基板保持部材１０〜４０を支持する支持部材５０と、支持部材５０を回転させる回転部材６０と、を備え、基板保持部材１０〜４０は、複数の基板Ｓを保持し、成膜源４と複数の基板Ｓとの間に配設される複数の保持面１１ｄと、複数の保持面１１ｄの間に形成され、複数の基板Ｓの端部とそれぞれ当接する複数の段差部１１ｅと、複数の段差部１１ｅに基板Ｓの端部が当接した状態にあるとき、成膜部分Ｓ１に相当する部分の保持面１１ｄ上に形成された複数の開口部１１ｆと、を有する。</p> |
