发明名称 Elektronenmikroskop und Elektronenmikroskop-Probenhalter
摘要 <p>Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Elektronenmikroskops, das leicht und sicher eine Gas- oder Flüssigkeitsumgebung in dem Elektronenmikroskop herstellen und eine Probe in der Umgebung und eine Reaktion der Probe bei einer hohen Auflösung beobachten kann, und die Bereitstellung eines Probenhalters für das Elektronenmikroskop. In dem Elektronenmikroskop mit der Probenhaltevorrichtung (6) zum Halten einer Probe (23) wird die Probe (23) in einer Kapillare (17) angeordnet, durch die Elektronenstrahlen geleitet werden können, wobei das Elektronenmikroskop eine Zufuhreinrichtung zum Zuführen von Gas oder Flüssigkeit in die Kapillare (17) und eine Auffangeinrichtung zum Auffangen des Gases oder der Flüssigkeit aufweist und das Elektronenmikroskop ein Probenbild der Probe erhält, während das Gas oder die Flüssigkeit strömt.</p>
申请公布号 DE112013003328(T5) 申请公布日期 2015.03.26
申请号 DE20131103328T 申请日期 2013.06.19
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 YAGUCHI, TOSHIE,;NAGAKUBO, YASUHIRA,
分类号 H01J37/20;H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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