METHOD FOR MEASURING THE DEPTH OF PENETRATION OF A LASER BEAM INTO A WORKPIECE, AND LASER MACHINING DEVICE

摘要

Bei einem Verfahren zum Messen der Eindringtiefe eines Laserstrahls (19) in ein Werkstück (24, 26) wird der Laserstrahl mit Hilfe einer in einem Bearbeitungskopf angeordneten Fokussieroptik (14) in einem Brennfleck (22) fokussiert. Der Brennfleck erzeugt dabei in dem Werkstück eine Dampfkapillare (88). Ein optischer Kohärenztomograph (40) erzeugt einen ersten Messstrahl (70a) und einen zweiten Messstrahl (70b). Der erste Messstrahl (70a) wird auf einen ersten Messpunkt (MPa) am Grund der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen ersten Abstand (a1) zwischen einem Referenzpunkt und dem ersten Messpunkt (MPa) zu messen. Gleichzeitig wird der zweite Messstrahl (70b) auf einen zweiten Messpunkt (MPb) auf einer zum Bearbeitungskopf (14) weisenden Oberfläche (92) des Werkstücks (24) außerhalb der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen zweiten Abstand (a2) zwischen dem Referenzpunkt und dem zweiten Messpunkt (MPb) zu messen. Die Eindringtiefe (d) des Laserstrahls ergibt sich dann als Differenz zwischen dem zweiten Abstand (a2) und dem ersten Abstand (a1).