Vakuumprozesskammer, Prozessiervorrichtung, Transportvorrichtung zum Transportieren eines Bandsubstrats und Verfahren zum Betreiben einer Prozessiervorrichtung

摘要

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer (100) aufweisen: eine Transportvorrichtung innerhalb der Vakuumkammer zum Transportieren eines Bandsubstrats (110) entlang verschiedener Substrattransportwege durch die Vakuumkammer (100) hindurch, wobei die Transportvorrichtung mindestens eine schwenkbar gelagerte Umlenkrolle (104) aufweist und derart eingerichtet ist, dass die mindestens eine Umlenkrolle (104) mittels Schwenkens (104s) in eine erste Stellung und in eine zweite Stellung gebracht werden kann, wobei ein zweiter Substrattransportweg in der zweiten Stellung der mindestens einen Umlenkrolle (104) länger ist als ein erster Substrattransportweg in der ersten Stellung.