异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台

摘要

本发明提出一种异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，包括X/Y向基座、X/Y向导轨、滑块、U型直线电机、平板电机、U型直线电机定子、宏动动子、微动动子和宏微一体化平台。所述宏动平台与所述微动平台通过弹性构件联接形成一体化平台，安装在X向基座的定子为宏动平台的动子与控制微动平台X向微运动的动子共用，Y向通过压电陶瓷或解耦音圈电机进行精密位移补偿，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可实现二维高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用。

主权项

异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台，其特征在于：包括X向基座、Y向基座和一体化平台；所述一体化平台包括宏动外框架和微动平台，所述微动平台包括X向微平台、X向弹片组、Y向微平台、Y向弹片组和Y向微驱动，具有弹性的所述X向弹片组设置于所述X向微平台的两侧，其一端连接于所述宏动外框架的内侧壁，另一端连接于所述X向微平台；具有弹性的所述Y向弹片组设置于所述Y向微平台的两侧，其一端连接于所述X向微平台的内侧壁，另一端连接于所述Y向微平台；所述X向弹片组和Y向弹片组相互垂直，用于放置工件的工作平台刚性连接于所述Y向微平台；所述X向基座设置有X向导轨、X向滑块和X向U型直线电机，所述X向滑块可滑动于所述X向导轨，所述X向U型直线电机包括X向定子、宏动外框架动子、X向微动平台动子和连接件，X向运动和X向微运动共用同一个所述X向定子；所述宏动外框架固定安装于所述X向滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述X向微动平台动子和所述X向定子控制其滑动于所述X向导轨实现X向宏运动；所述Y向微驱动包括Y向微音圈电机和Y向微连接板，所述Y向微音圈电机固定于所述Y向微连接板，所述Y向微连接板固定于所述X向微平台的底部，所述Y向微平台由所述Y向微音圈电机控制其在Y向的微运动；所述Y向微连接板的底部通过连接件于所述X向微动平台动子，并由所述X向微动平台动子控制其在所述X向定子在X向的微运动；所述Y向基座设置有Y向导轨、Y向滑块和Y向平板直线电机，所述Y向导轨设置在所述Y向基座表面上的两侧，所述Y向滑块可滑动于所述Y向导轨，所述Y向平板直线电机安装于任一侧的所述Y向导轨上，所述X向基座在X方向上的两侧通过固定于所述Y向滑块，并通过宏动连接件连接于所述Y向平板直线电机的动子，并由所述Y向平板直线电机控制其滑动于所述Y向导轨实现Y向宏运动。