一种MEMS可调谐光学驱动器与制作方法

摘要

本发明涉及一种MEMS可调谐光学驱动器及其制作方法，该驱动器包括基片、主变形梁、第一变形梁、第二变形梁、驱动电极、微镜面、散热框架结构、散热折叠梁和外部固定点，其特征在于所述第一变形梁和第二变形梁为主变形梁提供底部变形支撑；所述散热框架结构与微镜面隔离，所述折叠梁散热结构与散热框架及外部固定点相连。本发明采用了直拉直压的变形梁设计结构，对主变形梁提供支撑，避免了传统弯曲梁的不稳定性，并实现更大的热驱动位移。同时，采用散热框架及散热折叠梁的设计使得微镜面不直接与变形梁接触，降低热变化对微镜面的温度影响，增加了器件可靠性。由于采用了MEMS设计，能够实现紧凑的光衰减器封装。

主权项

一种MEMS可谐调光学驱动器芯片与制作方法，所述芯片包括：基片、驱动电极、变形梁、微镜面和散热框架，其中，变形梁的两端与驱动电极相连，所述微镜面位于散热框架中，所述散热框架与主变形梁的中间部分受力点相连，其特征在于还包括数量至少为2n（n>0）的支撑梁，所述支撑梁两两地与驱动电极相连，从而在变形梁和驱动电极之间形成支撑结构。