具有改良的冷却装置的腔室

摘要

本发明的实施方式提供一种加热组件，所述加热组件使用热交换装置冷却多个加热元件。所述加热组件包括：多个加热元件；冷却元件，所述冷却元件具有用于收纳冷却流体于其中的一或更多冷却通道；及热交换装置，所述热交换装置设置于多个加热元件与冷却元件之间。热交换装置包含热界面及冷界面，所述热界面被设置成邻近多个加热元件且与多个加热元件热接触，所述冷界面被设置成邻近冷却元件且与冷却元件热接触。

主权项

一种用于加热处理腔室的加热组件，所述加热组件包含：多个加热元件；冷却元件，所述冷却元件具有一或更多冷却通道以用于收纳冷却流体于所述冷却通道中；及设置在所述多个加热元件与所述冷却元件之间的热交换装置，其中所述热交换装置包含热界面及冷界面，所述热界面被设置成邻近所述多个加热元件且与所述多个加热元件热接触，所述冷界面被设置成邻近所述冷却元件且与所述冷却元件热接触。