单晶炉水冷套温度控制系统

摘要

本发明公开了一种单晶炉水冷套温度控制系统，它包括微处理器，设置在单晶炉的水冷套内壁上的温度传感器的信号传输端口依次经由采样信号放大电路、AD转换电路而与该微处理器的相应IO端口连接，设置在该水冷套的冷却水入口处的阀门的启闭控制端与步进电机的输出轴连接，该步进电机的信号控制端口与该微处理器的相应IO端口连接。本发明通过位置式PID算法控制流经水冷套的冷却水流量来调节水冷套的温度，使水冷套处于恒温状态，从而使IC级别单晶可稳定处于生长所需的热场纵向温度梯度条件下，以满足拉晶工艺的要求。

主权项

一种单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：它包括微处理器，设置在单晶炉的水冷套内壁上的温度传感器的信号传输端口依次经由采样信号放大电路、AD转换电路而与该微处理器的相应IO端口连接，设置在该水冷套的冷却水入口处的阀门的启闭控制端与步进电机的输出轴连接，该步进电机的信号控制端口与该微处理器的相应IO端口连接。