发明名称 全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法
摘要 本发明公开了一种全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法,该方法的步骤如下:全背电极太阳能电池完成前置制备后,在发射极和背表面场的下表面沉积一起泡钝化膜;再在该起泡钝化膜的下表面设置金属电极浆料,分别为和发射极相对应的金属正电极浆料以及和背表面场相对应的金属负电极浆料,并将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开;再进行热处理,金属正电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的发射极构成欧姆接触,形成局部接触金属正电极,金属负电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的背表面场构成欧姆接触,形成局部接触金属负电极。本发明能够省略传统通过激光或刻蚀的方式才能打开接触孔的步骤,简化了工艺步骤的同时,还降低了生产成本,生成的接触孔比较小,光电转换效率高。
申请公布号 CN104465885A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201410811692.8 申请日期 2014.12.23
申请人 常州天合光能有限公司 发明人 张学玲
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 常州市科谊专利代理事务所 32225 代理人 孙彬
主权项 一种全背电极太阳能电池形成局域金属化的生产方法,其特征在于该方法的步骤如下:(a)全背电极太阳能电池完成前置制备后,在发射极(1)和背表面场(2)的下表面沉积一起泡钝化膜(3);其中,在温度环境中,起泡钝化膜(3)内部生成多个气泡,将该区域的钝化膜剥离,局部打开钝化膜;(b)再在该起泡钝化膜(3)的下表面设置金属电极浆料,分别为和发射极(1)相对应的金属正电极浆料以及和背表面场(2)相对应的金属负电极浆料,并将金属正电极浆料和金属负电极浆料隔离开以避免短路;(c)再进行热处理,金属正电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的发射极(1)构成欧姆接触,形成局部接触金属正电极(4),金属负电极浆料与有气泡剥离钝化膜区域的背表面场(2)构成欧姆接触,形成局部接触金属负电极(5)。
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