涡轮分子泵

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵，其课题在于提高排气流量及防止反应生成物的堆积。将多段隔片(23a)中的至少一个隔片(23a)作为冷却隔片(23b)，所述冷却隔片(23b)具有向泵大气侧延伸出的冷却部，依据对螺纹定子(24)的温度进行检测的温度传感器(43)的检测温度，对设于基底(2)的加热器进行接通断开控制，将隔热构件(44)设在基底(2)与隔片(23a)之间，且包括辅助环(60)，所述辅助环(60)的至少一部分设在最下段的旋转翼(30al)与隔片(23a)、隔片(23b)之间的空隙内。

主权项

一种涡轮分子泵，其特征在于包括：转子，形成有多段旋转翼与圆筒部；多段固定翼，相对于所述多段旋转翼而交替地配置；定子，相对于所述圆筒部而经由间隙被配置，且在所述定子与所述圆筒部之间构成螺纹槽泵部；多个隔片，积层在固定有所述定子的基底上，至少包含一个具有冷却部的冷却隔片；加热器，使所述定子升温；温度调整部，控制所述加热器，进行调整以使所述定子的温度达到防止反应生成物堆积的温度；及辅助环，用于防止反应生成物堆积，且至少一部分设在所述多个隔片中的与所述多段旋转翼中的最下段的所述旋转翼相对的隔片、与所述最下段的旋转翼之间的空隙内。