切断装置及切断方法

摘要

本发明提供一种切断装置及切断方法，通过事先将被切断物冷却至与切削水相同的设定温度，从而抑制从对准时刻至进行切断期间的热变形。在双工位工作台方式的切断装置中，由冷气生成机构将冷气供给至装载机。通过使冷气在形成于装载机的冷却部的冷却用通道中进行流动，从而冷却固定部上吸附着的封装基板。通过事先冷却封装基板以使与切削水的设定温度相同，从而使封装基板收缩成与进行切断的状态相同。由于在已收缩的状态下进行对准，因此在从对准时刻至进行切断期间切断线的位置不会偏移，从而能够沿切断线准确地进行切断。

主权项

一种切断装置，包括：运送机构，运送被切断物；载物台，供放置所述被切断物；对位机构，通过使所述载物台上放置的所述被切断物所具有的切断线的位置对位来进行设定；切断机构，使用旋转刃沿所述切断线切断所述被切断物；和喷射机构，对所述旋转刃与所述被切断物所抵接的被加工点喷射规定温度的切削水，所述切断装置的特征在于，包括：第一冷却机构，设置在所述运送机构或所述载物台中的至少一个中且用于冷却所述被切断物，通过所述第一冷却机构，所述被切断物冷却至所述规定温度，通过所述对位机构设定被冷却至所述规定温度的所述被切断物上的所述切断线的位置。