基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器及其制造方法

摘要

本发明实施例公开了一种基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器及其制造方法，包括：制备热释电晶体衬底；在热释电晶体衬底的一侧上沉积镍铬合金层形成上电极；在上电极上形成石墨烯红外吸收层；在热释电晶体衬底的与上电极相反的侧上沉积镍铬合金层形成下电极；将下电极金属键合到高热阻抗基底上；将石墨烯红外吸收层的表面加工成纳米形貌结构，形成红外敏感吸收层。本发明的实施例中，镍铬合金层和石墨烯红外吸收层的多层薄膜结构作为该热释电红外探测器的热敏感层，具有更好的表面致密性、高的吸收系数和较小的热损失，能够获取高性能热响应。

主权项

一种制造基于石墨烯吸收层的热释电红外探测器的方法，其特征在于，包括：制备热释电晶体衬底；在所述热释电晶体衬底的一侧上沉积镍铬合金层，形成上电极；在所述上电极上沉积石墨烯红外吸收层；在所述热释电晶体衬底的与所述上电极相反的侧上沉积镍铬合金层，形成下电极；将所述下电极金属键合到高热阻抗基底上；将所述石墨烯红外吸收层的表面的至少一部分加工成纳米形貌结构，形成红外敏感吸收层。