TFT阵列检查的电子束扫描方法以及TFT阵列检查装置

摘要

一种TFT阵列检查的电子束扫描方法以及TFT阵列检查装置，对TFT基板的面板施加规定电压的检查信号以驱动阵列，对面板上照射电子束进行扫描，基于在该电子束扫描中检测到的检测信号来检查TFT基板的阵列，针对TFT阵列的沿源极方向排列的像素列或沿栅极方向排列的像素列，沿着与像素列的排列方向相同的方向来使电子束进行扫描，并在进行扫描的像素列中的各像素中，将第1点电子束照射位置与第2点电子束照射位置设为在该像素内于对角线上夹着像素列的中心线而相向的位置，在对像素列扫描一次期间内对该像素列进行二维扫描。由此，降低二次电子检测器的余辉时间影响，减少缺陷检测的检测精度的下降，减少因噪声造成的缺陷误检测的发生。

主权项

一种薄膜晶体管阵列检查的电子束扫描方法，所述薄膜晶体管阵列检查是对薄膜晶体管基板的面板施加规定电压的检查信号以驱动阵列，对所述面板上照射电子束来进行扫描，并基于在所述电子束扫描中检测到的检测信号来检查所述薄膜晶体管基板的阵列，其特征在于，针对所述薄膜晶体管基板的阵列的沿源极方向排列的像素列或沿栅极方向排列的像素列，沿着与所述像素列的排列方向相同的方向来使所述电子束进行扫描，并且在进行扫描的所述像素列中的各像素中，将第1点的所述电子束的照射位置与第2点的所述电子束的照射位置设为在该像素内于对角线上夹着所述像素列的中心线而相向的位置，在对所述像素列扫描一次的期间内，对该像素列进行二维扫描。