一种电致红外发光器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电致红外发光器件，包括P型硅衬底、自下而上依次沉积在P型硅衬底正面的发光层和透明电极层、以及沉积在P型硅衬底背面的欧姆接触电极，所述的发光层为掺铒的氧化锌膜。本发明还提供了一种制备上述电致红外发光器件的制备方法。本发明的电致红外发光器件结构简单，制造方便，该发光器件在较低的正向直流偏压下会在红外光区域发光，发光波长为铒离子的约1540nm的特征发光尖峰；且发光强度随着注入电流的增大而增加，可根据实际需要调整注入适当的电流，以得到适当的发光强度。

主权项

一种电致红外发光器件，包括P型硅衬底(1)、自下而上依次沉积在P型硅衬底(1)正面的发光层(2)和电极层(3)、以及沉积在P型硅衬底(1)背面的欧姆接触电极(4)，其特征在于，所述的发光层(2)为掺铒的氧化锌膜；所述的电极层(3)的厚度为120～180nm；所述的欧姆接触电极为金膜；所述的欧姆接触电极的厚度为100～200nm；P型硅衬底的厚度为600～700微米，电阻率为0.001～0.01欧姆·厘米；所述的掺铒的氧化锌膜的厚度为100～200nm；所述的掺铒的氧化锌膜的制备方法为：(1)利用磁控溅射法沉积掺铒的氧化锌初始膜；(2)将制备得到掺铒的氧化锌初始膜在氧气氛围中、700～750℃条件下热处理2～5小时，得到掺铒的氧化锌膜；所述的掺铒的氧化锌膜中铒的掺入量以原子比计为1‑2％。