一种激光制备微纳阵列结构的系统和方法

摘要

本发明公开一种新的利用激光制备微纳阵列结构的系统和方法。该方法包括：提供具有使待加工材料产生多光子吸收效应的波长的第一激光束；将高斯分布的第一激光束均匀化处理为能量分布均匀的第一平顶光束；用微透镜阵列组件将平顶光束分束为以阵列排列的多个激光束；将阵列排列的多个激光束分别聚焦于同一平面的光束聚焦组件；和对置于计算机控制的微移动台上的金属离子溶液进行扫描，得到数百个微纳尺度的周期性阵列结构，其中第一平顶光束的束斑面积等于或小于所述微透镜阵列组件的有效阵列面积。本发明能实现快速、批量、大规模制备结构一致的、尺寸可控的微纳阵列结构。

主权项

一种激光制备微纳阵列结构的系统，包括：用于提供使待加工材料产生多光子吸收效应的第一激光束的第一激光光源；用于将所述第一激光束均匀化为能量分布均匀的第一平顶光束的第一光束整形组件；用于将所述第一平顶光束分束为以阵列排列的多个激光束的微透镜阵列组件；用于将阵列排列的激光束分别聚焦于同一平面的光束聚焦组件；和计算机控制的微移动台，其特征在于，所述光束整形组件的出瞳面积等于或小于所述微透镜阵列组件的有效阵列面积。