一种多温区晶圆测试探针卡

摘要

本发明提供了一种多温区晶圆测试探针卡，包括探针卡本体和探针卡辅助装置，所述探针卡本体包括基板、第一焊盘和探针，所述第一焊盘设置于所述基板上，所述探针的一端通过所述第一焊盘与所述基板电连接，其另一端与待测晶圆的焊盘连接，所述基板包括叠置的若干层金属平面层，所述基板具有至少一个金属过孔，所述基板还包括接地过孔，所述接地过孔与基板的地网络金属平面层连接，所述探针卡辅助装置包括支架，所述支架固定在所述基板远离探针的一面上。本发明的有益效果是：在多温区测试环境中，无需采用受工艺影响只能设计低层数的精密陶瓷基板，即可实现晶圆测试中探针卡本体形变的最小化并减少针迹偏移，保证了测试效率和测试质量，节省了成本。

主权项

一种多温区晶圆测试探针卡，其特征在于，包括探针卡本体和探针卡辅助装置，所述探针卡本体包括基板、第一焊盘和探针，所述第一焊盘设置于所述基板上，所述探针的一端通过所述第一焊盘与所述基板电连接，其另一端与待测晶圆的焊盘连接，所述基板包括叠置的若干层金属平面层，所述基板具有至少一个金属过孔，用于所述基板内部各金属平面层的电气连接或器件的固定，所述基板还包括接地过孔，所述接地过孔与基板的地网络金属平面层连接，用于减小所述基板的形变，所述探针卡辅助装置包括支架，所述支架与所述基板的大小及形状均相匹配，所述支架固定在所述基板远离探针的一面上。