基板涂布设备

摘要

本实用新型公开了一种基板涂布设备，包括一第一XY轴向移动机构、一Z轴向旋转机构、一承载台、一喷头装置及一翻转机构。Z轴向旋转机构连接在第一XY轴向移动机构上并跟随第一XY轴向移动机构移动。喷头装置包含一Z轴向移动机构及安装在Z轴向移动机构的一喷头组件。喷头组件跟随Z轴向移动机构移动并对应凹槽配置。翻转机构包含一翻转台及连接翻转台的一驱动部。翻转机构连接Z轴向旋转机构并相对喷头组件设置，Z轴向旋转机构与承载台跟随翻转台翻转。借此，达到喷涂膜层品质优良及厚度均匀等特点。

主权项

一种基板涂布设备，其特征在于，包括：一机座（1）；一第一XY轴向移动机构（2），固定在该机座（1）上；一翻转机构（11），包含一翻转台（11a）及连接该翻转台的一驱动部（11b），该翻转机构（11）连接该第一XY轴向移动机构（2）并跟随该第一XY轴向移动机构（2）移动，一Z轴向旋转机构（3），设置在该翻转机构（11）上并相对该翻转机构（11）移动；一承载台（5），该承载台（5）连接在该Z轴向旋转机构（3）上并跟随该Z轴向旋转机构（3）移动；以及一喷头装置（7），包含一Z轴向移动机构（71）及安装在该Z轴向移动机构（71）的一喷头组件（72），该喷头组件（72）跟随该Z轴向移动机构（71）移动，其中该Z轴向旋转机构（3）与该承载台（5）跟随该翻转台（11a）翻转。