| 摘要 |
<p>回路に負担のかかる静電容量を小さくすることができ、かつ、静電容量あたりの振幅量を大きくすることができる積層圧電体を提供する。圧電セラミック層１５Ａ〜１５Ｄを積層した上部積層体７と、圧電セラミック層１５Ｅ〜１５Ｈを積層した下部積層体９と、上部積層体７と下部積層体９との間に配置された内部絶縁層１１とから積層圧電体５を構成する。そして、駆動時の上部積層体７の振幅モードと下部積層体９の振幅モードが逆になるように、上部積層体７及び下部積層体９の圧電セラミックス層を分極処理する。下部積層体９のみを支持プレート３で支持する。内部絶縁層１１には、分極処理を施さない。</p> |
