发明名称 正型感光性组成物
摘要
申请公布号 TWI477910 申请公布日期 2015.03.21
申请号 TW099121470 申请日期 2010.06.30
申请人 捷恩智股份有限公司 发明人 木村佑希;江头友弘;近藤学
分类号 G03F7/039;G03F7/075;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种感光性组成物,包含:下述通式(I)所表示的化合物(A);具有硷可溶性的矽氧烷聚合物(B),其是藉由水解缩合包含烷氧基数不同的两种以上烷氧基矽烷化合物的原料而合成的;1,2-醌二叠氮化合物(C);以及溶解上述(A)~(C)的溶剂(D), (通式(I)中,R独立地表示氢、碳数为1~45的烷基、碳数为4~8的环烷基、或碳数为6~10的经取代或未经取代的芳基;X独立地表示氢、-Si(CH3)2H、-Si(CH3)3、-Si(CH3)2(CH2)3-OOCC(CH3)=CH2、-Si(CH3)2(CH2)3COOH、或者下述式(II)所表示的基团,上述R中的碳数为1~45的烷基及碳数为4~8的环烷基分别为:任意的氢可经氟所取代,另外不邻接的-CH2- 可经-O-或碳数为5~18的伸环烷基所取代,上述R中经取代的芳基的苯环中,键结于苯环的任意的氢可独立地经碳数为1~10的烷基、或者卤素所取代)。
地址 日本