| 主权项 |
一种系统，其包含：一第一侦测器，其位于一傅立叶平面(Fourier plane)处，且经组态以侦测由一光罩之一区段(section)产生的经图案化光之一第一部分；一动态傅立叶滤波器(dynamic Fourier filter)；一控制器，其经组态以基于该经图案化光之该第一部分来控制该动态傅立叶滤波器；一第二侦测器，其经组态以侦测在由该光罩之该区段产生的该经图案化光之一第二部分，其系在该第二部分透射(transmit)通过该动态傅立叶滤波器之后；及一资料分析器件(device)，其经组态以比较该经图案化光之该第二部分与另一经图案化光。
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