| 发明名称 | 电浆处理装置及其构成零件 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI478203 | 申请公布日期 | 2015.03.21 |
| 申请号 | TW098137597 | 申请日期 | 2009.11.05 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 村上贵宏;若木俊克 |
| 分类号 | H01J37/32;H05H1/46;H01L21/3065 | 主分类号 | H01J37/32 |
| 代理机构 | 代理人 | 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 | |
| 主权项 | 一种电浆处理装置的构成零件，系利用电浆来对基板实施电浆处理的电浆处理装置的构成零件，其特征为：以和基板对向的方式配置而暴露于前述电浆的构成零件中，具有：与前述基板对向的中心侧的面，及该中心侧的面的外侧的面，前述中心侧的面与前述外侧的面系以115°以上180°未满交叉，或形成同一平面，在前述中心侧的面，在比和被配置成包围前述基板的聚焦环对向的位置更外侧的位置设有沟，该沟的宽度为在使用前述构成零件的电浆处理装置产生的电浆的鞘层长的2倍以上。 | ||
| 地址 | 日本 | ||