| 主权项 |
一种溅镀装置，属于配置有：真空腔室；及基板平台，设于前述真空腔室内而用来保持基板；及复数个阴极电极，与前述基板平台相向设置而用来保持各个靶材；及防附着板，配置于前述基板平台与前述阴极电极之间，在与前述复数个靶材的各个相向之位置形成有孔；该溅镀装置，其特征为：在前述防附着板与前述基板平台之间具有闸门板，该闸门板形成有使前述靶材对前述基板露出之至少一个孔，藉由以旋转轴为中心之旋转，将前述靶材与前述基板做成遮蔽状态或非遮蔽状态，在前述防附着板与前述闸门板彼此相向的各自之面，形成有以该闸门板的旋转轴为中心之同心状的凹凸形状，在前述各自之面形成的前述凹凸形状，是形成为各自的凹部与凸部互相面对面，且各自的凹部与凸部互相交错。 |
