微结构之制造方法

主权项

一种制造微结构之方法，包括：在图案化材料上形成导膜，该图案化材料之上表面为疏水性，于该导膜中制作开孔，该导膜之上表面为亲水性，该开孔之侧表面为疏水性；藉由施用溶液以覆盖该图案化材料及该导膜，将该溶液分离为疏水嵌段及亲水嵌段，且固化该溶液来形成固化膜，该溶液包含具有疏水部及亲水部之两亲聚合物，该疏水部之长度较该亲水部之长度长，该疏水部系聚集于该疏水嵌段中，该亲水部系聚集于该亲水嵌段中；藉由自该固化膜移除该亲水嵌段而形成遮蔽部件；且使用该遮蔽部件作为遮罩对该图案化材料进行处理。