| 发明名称 |
鳍式场效电晶体及形成鳍式场效电晶体之应力结构的方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI478335 |
申请公布日期 |
2015.03.21 |
| 申请号 |
TW101129465 |
申请日期 |
2012.08.15 |
| 申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
李宜静;林佑儒;万政典;吴政宪;柯志欣 |
| 分类号 |
H01L29/76;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
| 主权项 |
一种鳍式场效电晶体，包括：一超晶格(superlattice)层位于一基底之鳍部份上；以及一应变层(strained layer)位于该超晶格层上，且提供一闸极通道，该超晶格层系提供该闸极通道应力。
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
