Gaseinspritzkomponenten für Abscheidungssysteme, Abscheidungssysteme mit derartigen Komponenten und dazugehörige Verfahren

摘要

Schirminjektoren umfassen eine Gaseinspritzöffnung, Innenseitenwände und wenigstens zwei Rippen zum Lenken eines Gasflusses durch die Schirminjektoren. Jede der Rippen erstreckt sich von einer Position in der Nähe eines Lochs in der Gaseinspritzöffnung in Richtung eines Gasauslasses des Schirminjektors und ist zwischen den Innenseitenwänden angeordnet. Abscheidungssysteme umfassen eine Basis mit divergent verlaufenden Innenseitenwänden, eine Gaseinspritzöffnung, einen Deckel und wenigstens zwei divergierend verlaufende Rippen zum Leiten von Gas durch einen mittleren Bereich eines Raumes, der zumindest teilweise durch die Innenseitenwände der Basis und einer unteren Fläche des Deckels definiert ist. Verfahren zur Bildung eines Materials auf einem Substrat umfassen das Leiten eines Vorläufergases durch einen Schirminjektor und Lenken eines Teils des Vorläufergases durch einen mittleren Bereich des Schirminjektors mit Hilfe von wenigstens zwei Rippen.