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<p>Verfahren zum Kalibrieren einer Streumessanlage, wobei das Verfahren umfasst: Messen einer kritischen Abmessung mindestens eines Produktstrukturelements, das über einer Scheibe (31) ausgebildet ist, wobei die Streumessanlage (74) verwendet wird; Messen mindestens einer von mehreren Gitterstrukturen (60), die über der Scheibe (31) ausgebildet sind, wobei die Streumessanlage (74) verwendet wird und wobei die Gitterstrukturen (60) jeweils eine unterschiedliche kritische Abmessung aufweisen; und Bestimmen eines Korrekturfaktors auf der Grundlage der Messung einer der mindestens einen Gitterstruktur (60), wobei der Korrekturfaktor mit der gemessenen kritischen Abmessung des mindestens einen Produktstrukturelements zum Bestimmen der kritischen Abmessung des mindestens einen Produktstrukturelements multipliziert wird.</p> |
