光敏性、可溶于显影剂的底部减反射涂层材料

摘要

描述了光敏性、可溶于显影剂的底部减反射涂层。还批露了组合物和形成该组合物的方法，以及所得微电子结构。减反射组合物包括多官能度环氧化合物，其具有多个从其侧接的环氧部分和一种或更多种连接到该多官能度环氧化合物的可交联的发色团。所述化合物和乙烯基醚交联剂一起分散或溶解于溶剂体系中，且可用来构建用于微电子制造的可交联的和可去交联的涂层。

主权项

一种用于微电子制造的光敏性、可溶于显影剂的减反射组合物，所述组合物包括分散或溶解于溶剂体系中的多官能度环氧化合物和乙烯基醚交联剂，其中所述多官能度环氧化合物包括连接到多官能度环氧化合物上的一种或更多种可交联的发色团。