| 发明名称 | 靶材组件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材组件的制造方法，包括以下步骤：提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；将所述靶材、背板焊接在一起；去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。本发明还提供一种靶材组件，包括靶材以及背板，所述靶材的焊接面嵌入所述背板的焊接面中。本发明提供的方法进一步排出了靶材、背板之间的残留气体，提高了靶材成品率。此外，本发明还提供一种通过上述方法获得的靶材组件。 | ||
| 申请公布号 | CN104416281A | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201310375546.0 | 申请日期 | 2013.08.26 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈玉蓉 |
| 分类号 | B23K20/24(2006.01)I;B23K20/14(2006.01)I;B23K20/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | B23K20/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高静;骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；将所述靶材、背板焊接在一起；去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||