MEMS谐振器

摘要

本实用新型提供了一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，所述质量块中开设有多个孔径；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。在本实用新型提供的MEMS谐振器中，所述MEMS谐振器的频率可由质量块中开设的多个孔径予以改变。由此当需要不同频率的MEMS谐振器时，只需选取不同数量/大小的孔径即可，即通过改变MEMS谐振器的设计结构即可实现。相对于现有技术中，要得到不同频率的MEMS谐振器需要对MEMS谐振器的制造工艺做出改变而言，通过本实用新型的MEMS谐振器更加易于得到不同的频率。

主权项

一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：锚部；围绕所述锚部，并且与所述锚部连接的质量块，在所述质量块中与所述锚部连接的位置处开设有多个孔径，所述锚部、所述质量块以及所述孔径均为轴对称结构；及围绕所述质量块，并且与所述质量块具有一定间隙的电极。