发明名称 一种植球装置及其植球方法
摘要 本公开提供一种植球装置及其植球方法。植球装置包含一基板、一介电层以及一锡膏。该基板包含一表面。该介电层设置于该表面上,其中该介电层包含复数个孔洞。该锡膏填充于该复数个孔洞,其中该锡膏的一顶面与该介电层的一暴露面齐平。
申请公布号 CN104425294A 申请公布日期 2015.03.18
申请号 CN201310686767.X 申请日期 2013.12.12
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 廖宗仁
分类号 H01L21/60(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 北京市铸成律师事务所 11313 代理人 孟锐
主权项 一种植球装置,包含:一基板,包含一表面;一介电层,设置于该表面上,其中该介电层包含复数个孔洞;以及一锡膏,填充于该复数个孔洞,其中该锡膏的一顶面与该介电层的一暴露面齐平。
地址 中国台湾新竹