晶体管和包括该晶体管的显示装置

摘要

提供了晶体管和包括该晶体管的显示装置。该晶体管可以包括具有多层结构的沟道层。沟道层可包括第一层和第二层，该第一层和第二层包括具有各自浓度的多个元素中的至少一个，该第一层可以比第二层更靠近栅极设置。由于元素和元素各自的浓度的组合，所以第二层可具有比第一层的电阻高的电阻。第一层和第二层中的至少一个可包括包含锌、氧和氮的半导体材料。替代地，第一层和第二层中的至少一个可包括包含锌氟氮化物的半导体材料。第二层的氧含量可以高于第一层的氧含量。第二层的氟含量可以高于第一层的氟含量。

主权项

一种晶体管，包括：沟道层，具有多层结构；源极和漏极，分别接触所述沟道层的第一区和第二区；栅极，与所述沟道层相应；和栅绝缘层，设置在所述沟道层和所述栅极之间，其中所述沟道层包括第一层和第二层，其中所述第一层比所述第二层更靠近所述栅极设置，其中所述第一层和所述第二层包括包含锌、氧和氮的半导体材料；和其中所述第二层具有比所述第一层的电阻高的电阻。