| 发明名称 | 一种镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种镀膜装置，其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘，其特征在于：所述支撑架上设置多条轨道，轨道端部置有固定件，所述载盘边缘与轨道吻合，通过固定件固定于支撑架形成伞状载体；所述载盘包括放置晶片的晶片固定区和固定晶片的抽真空装置。利用上述镀膜装置可降低人工操作对晶片的污染，减少上下晶片的操作时间，同时可拆卸式载盘便于存放和转移。 | ||
| 申请公布号 | CN204211816U | 申请公布日期 | 2015.03.18 |
| 申请号 | CN201420698621.7 | 申请日期 | 2014.11.20 |
| 申请人 | 安徽三安光电有限公司 | 发明人 | 蔡家豪;庄立东;罗士文;张永奎;周阳 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种镀膜装置，其至少包括一支撑架、多个放置并固定晶片的载盘，其特征在于：所述支撑架上设置多条轨道，轨道端部置有固定件，所述载盘边缘与轨道吻合，通过固定件固定于支撑架形成伞状载体；所述载盘包括晶片固定区和抽真空装置。 | ||
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号 | ||