发明名称 具备同轴驱动取放架的检测机台
摘要 本发明涉及一种具备同轴驱动取放架的检测机台,包括:X、Y轴移载机构;立板;驱动齿轮;以及两个L型取放架。其中立板组设于X、Y轴移载机构上,驱动齿轮设置于立板上,两个L型取放架分别设置在驱动齿轮的两侧并与立板连接且可相对滑移,每个L型取放架包括啮合于驱动齿轮上的齿条。其中,当驱动齿轮转动时,两个L型取放架受其驱动而分别上升和下降。据此,本发明的检测机台能在一次的移载过程中,同时处理进料和出料,能大幅缩短芯片的移载时间,并且检测装置或移载装置均无闲置的等待时间,可显著提高检测效率。
申请公布号 CN104425307A 申请公布日期 2015.03.18
申请号 CN201310495324.2 申请日期 2013.10.21
申请人 致茂电子股份有限公司 发明人 黄瑞楠
分类号 H01L21/66(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 主分类号 H01L21/66(2006.01)I
代理机构 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人 刘激扬
主权项 一种具备同轴驱动取放架的检测机台,包括:X、Y轴移载机构,其组设于所述检测机台上;立板,其组设于所述X、Y轴移载机构上;驱动齿轮,其设置于所述立板上;以及两个L型取放架,其分别设于所述驱动齿轮的两侧,并与该立板连接而可被导引作相对滑移,每个L型取放架包括齿条,所述齿条与所述驱动齿轮相啮合;其中,当所述驱动齿轮转动而驱动齿条时,连动所述两个L型取放架分别进行上升和下降。
地址 中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区华亚一路66号