固态照明源及检查系统;SOLID STATE ILLUMINATION SOURCE AND INSPECTION SYSTEM

摘要

一种用于一检验系统之例示性照明源包含具有大约1104 nm之一波长之一脉冲种子雷射及具有大约1160 nm之一波长之一连续波拉曼种子雷射。一光学耦合器可组合该脉冲种子雷射及该连续波拉曼种子雷射之输出。预放大级可接收该光学耦合器之一输出。一功率放大器可接收该等预放大级之一输出。可使用该经放大、组合波长产生六次谐波。用于检验一样品诸如一比例光罩、光罩或晶圆之系统可包含本文所述之该等照明源之一者。