具有接合压电层之超音波感测器;ULTRASONIC SENSOR WITH BONDED PIEZOELECTRIC LAYER

摘要

本发明提供关于一种用于侦测超音波能之超音波感测器的系统、方法及设备。在一些实施中，该超音波感测器包括一压电接收器层，该压电接收器层藉由一黏着剂而接合至安置于一基板上之一像素电路阵列，该阵列中之每一像素电路包括至少一薄膜电晶体(TFT)元件且具有电耦接至该像素电路之一像素输入电极。形成超音波感测器之方法包括将压电接收器层接合至TFT阵列。