用于形成磁场之装置及其使用方法;APPARATUS FOR FORMING A MAGNETIC FIELD AND METHODS OF USE THEREOF

摘要

本发明提供用于形成磁场之装置及该装置之使用方法。在一些实施例中，具有实质上相似的尺寸之复数个线圈以对称图案围绕处理腔室安置，该对称图案围绕该处理腔室之中心轴而居中，其中该复数个线圈经配置以产生磁场，该磁场具有复数个磁场线，该复数个磁场线为实质上平面且实质上平行的。在一些实施例中，该复数个线圈包含八个线圈，该八个线圈围绕该处理腔室安置，其中该八个线圈中之每一线圈相对于该八个线圈中之各别相邻线圈偏移约45度之角度。