接合装置、接合系统及接合方法

摘要

防止保持基板之保持部损伤。实施形态之接合装置，系具备有第1保持部、第2保持部、加压机构、第1冷却机构、第2冷却机构、第3加热机构及第4加热机构。第1保持部，系具有第1加热机构，且保持第1基板。第2保持部，系具有第2加热机构，且保持第2基板。加压机构，系使第1基板与第2基板接触并进行加压。第1冷却机构，系被设置于与第1保持部之保持面相反之侧，且经由第1保持部对第1基板进行冷却。第2冷却机构，系被设置于与第2保持部之保持面相反之侧，且经由第2保持部对第2基板进行冷却。第3加热机构，系被设置于与配置有第1冷却机构之第1保持部之侧相反的侧，且对第1冷却机构进行加热。第4加热机构，系被设置于与配置有第2冷却机构之第2保持部之侧相反的侧，且对第2冷却机构进行加热。