| 发明名称 |
低誘電性光画像形成性組成物及びそれから製造した電子デバイス |
| 摘要 |
本発明は、一般的には、電子デバイスに使用するのに適した低ｋ誘電率材料の形成に使用することができケイ素をベースとするフォトレジスト組成物、それの使用方法、及びそれから製造された電子デバイスに関する。 |
| 申请公布号 |
JP2015508184(A) |
申请公布日期 |
2015.03.16 |
| 申请号 |
JP20140556147 |
申请日期 |
2013.02.08 |
| 申请人 |
アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ（ルクセンブルグ）ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ |
发明人 |
チャン・ルージュー;キム・ジウン;パテール・バラクマー・ケー;ウォルファー・エリザベス |
| 分类号 |
G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/075 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
