藉由裂开如八氯三矽烷之高级多氯矽烷制造六氯二矽烷的方法;PREPARATION OF HEXACHLORODISILANE BY SPLITTING HIGHER POLYCHLOROSILANES SUCH AS OCTACHLOROTRISILANE

摘要

本发明系关于将多氯矽烷转化成六氯二矽烷的方法，系藉将一或多种三聚多氯矽烷或将三聚多氯矽烷与更高分子量多氯矽烷之混合物暴露至气体放电，以形成六氯二矽烷，再将其分离出来。