淋洒头、电浆处理装置、以及电浆处理方法

摘要

提供一种电浆处理装置用淋洒头，可降低从连接于同一气体扩散室之复数气体喷射口所喷射之气体之流量差，降低对不同复数气体供给路径输入气体后至从对应之区域之气体喷射口喷射气体为止之时间之差异。一实施形态之淋洒头，系于复数区域个别设置复数气体喷射口，对该个别之复数区域从个别之气体供给路径来供给处理气体。各气体供给路径从上游至下游之间包含三个气体扩散室。