发明名称 THZセンサを用いた連続不均一性のウェブ上のキャリパー・コーティング測定
摘要 層厚および屈折率が、変数として、送信された放射線の速度および方向を決定するコーティングされた連続ウェブによる放射線の伝播を、分析モデルは、シミュレーションする。モデルは、入射放射線の特性に基づいて送信された放射線の特性を予測して、まず最初に層厚に関し値を割り当てた。周知の特性の入射放射線がコーティングされたウェブ上へ目指すそれによって、プロセスで、コーティング厚は確認され、その後、送信された放射線の実際の測定値は予測された特性と比較される。適切なアルゴリズムを用いて、モデルの層の割り当てられた厚みは、調整され、実際のおよび予測値が所望の限度の範囲内にあるまでプロセスは繰り返えされる。その時、割り当てられた厚みは、測定されたキャリパーを表す。サンプル・パルスの位相および振幅が追跡されることがありえ、修正されることがありえ、それによって、連続リファレンスを、作成するテラヘルツ時間領域分光装置を用いて、放射線測定値は得られる。
申请公布号 JP2015508160(A) 申请公布日期 2015.03.16
申请号 JP20140555901 申请日期 2013.01.24
申请人 ハネウェル・アスカ・インコーポレーテッド 发明人 サヴァード,ステファーヌ;クロラク,アダム
分类号 G01N21/3586;G01B11/06;G01B15/02 主分类号 G01N21/3586
代理机构 代理人
主权项
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