发明名称 处理设备;PROCESSING FACILITY
摘要 本发明之处理设备构造成在容器支撑体支撑有容器之状态下,容器侧接合面与支撑体侧接合面接合,供给孔或排出孔与连通孔可连通,容器侧接合面中至少连通孔之周围形成平坦,支撑体侧接合面呈随着远离供给孔或排出孔而逐渐向下之形状。
申请公布号 TW201511167 申请公布日期 2015.03.16
申请号 TW103119573 申请日期 2014.06.05
申请人 大福股份有限公司 DAIFUKU CO., LTD. 发明人 大塚洋 OTSUKA, HIROSHI;河村真辅 KAWAMURA, SHINSUKE;吉本忠浩 YOSHIMOTO, TADAHIRO
分类号 H01L21/673(2006.01) 主分类号 H01L21/673(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群陈文郎
主权项
地址 日本 JP