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经营范围
发明名称
处理设备;PROCESSING FACILITY
摘要
本发明之处理设备构造成在容器支撑体支撑有容器之状态下,容器侧接合面与支撑体侧接合面接合,供给孔或排出孔与连通孔可连通,容器侧接合面中至少连通孔之周围形成平坦,支撑体侧接合面呈随着远离供给孔或排出孔而逐渐向下之形状。
申请公布号
TW201511167
申请公布日期
2015.03.16
申请号
TW103119573
申请日期
2014.06.05
申请人
大福股份有限公司 DAIFUKU CO., LTD.
发明人
大塚洋 OTSUKA, HIROSHI;河村真辅 KAWAMURA, SHINSUKE;吉本忠浩 YOSHIMOTO, TADAHIRO
分类号
H01L21/673(2006.01)
主分类号
H01L21/673(2006.01)
代理机构
代理人
恽轶群陈文郎
主权项
地址
日本 JP
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