检查感度评估方法

摘要

本发明之一样态的检查感度评估方法，其特征为：作成依据界定复数图形图案的基准设计资料之复数图形图案的基准设计画像；作成对于基准设计资料所界定之复数图形图案，使画像内之复数图形图案均一地位置偏离，且依据预先设定之复数位置偏离量的位置偏离量不同之复数位置偏移设计画像；取得依据对于复数图形图案没有位置偏离的基准设计资料所制作之光罩的光学画像；运算基准设计画像与光学画像之间的第1位置偏离量的工程；运算复数位置偏移设计画像之各位置偏移设计画像与光学画像之间的第2位置偏离量；使用第1与第2位置偏离量，取得可检测的位置偏离量。