发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und eine Halbleitervorrichtung
摘要 Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (100) zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung das Bereitstellen eines Halbleiterwerkstücks, einschließlich einer Vorrichtungsregion auf einer ersten Seite des Halbleiterwerkstücks, wobei eine mechanische Stabilität des Halbleiterwerkstücks nicht ausreichend ist, um wenigstens einem Backend-Prozess ohne Beschädigung zu widerstehen (102), und das Aufbringen von wenigstens einer leitfähigen Schicht über einer zweiten Seite des Halbleiterwerkstücks gegenüber der ersten Seite des Halbleiterwerkstücks umfassen, wobei die wenigstens eine leitfähige Schicht die mechanische Stabilität des Halbleiterwerkstücks erhöht, um ausreichend zu sein, dem wenigstens einen Backend-Prozess ohne Beschädigung zu widerstehen (104).
申请公布号 DE102014112864(A1) 申请公布日期 2015.03.12
申请号 DE201410112864 申请日期 2014.09.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AHRENS, CARSTEN;FISCHER, THOMAS;SCHMENN, ANDRE;SOJKA, DAMIAN
分类号 H01L21/58;H01L21/60;H01L23/495 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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